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iHQ-900E是EBET易博推出的面向先进造程的中束流离子注入机
。该设备具备卓越的离子束角度精度和束形节造能力，可不变保险晶圆注入剂量高度精准；整机选取先进的三磁铁架构，可提供行业当先的高干净束线环境
。该机型适配多类高端芯片造作场景，面向 FinFET 逻辑器件，可能实现关键的角度节造更精准；适配DRAM、3D NAND 等存储芯片量产造程，降低单片造作成本；同时依附优异的金属传染阐发机能，可满足CMOS 图像传感器严苛的造作要求；搭载高温注入工艺

？，可实现SiC 功率器件参杂工艺需要
。iHQ-900E是推动摩尔定律发展和加快第三代半导体产业规；骋谆闹魈夤丶璞
。