Versatile-DT300是EBET易博推出的一款高效能、高干净度的全自动双轴晶圆边缘建整设备，用于精准解决晶圆减薄时边缘崩边问题，提高减薄质量。该设备集切割、传输、洗濯、量测等多个单元为一体，配置多轴联动高精亲昵割技术、全自动传输及高干净度洗濯技术，并搭载高分辨率视觉对准及先进的量测系统。Versatile-DT300具备高机能且尺寸紧凑、工艺矫捷、多模式组合、多职能配置蹬着点，极大满足存储芯片、图像传感器、先进封装等多种晶圆造作工艺及产品的各项技术需要。
高机能、高精度，结构紧凑，节俭干净间空间
工艺矫捷、支持单轴、双轴、角度切割等方式
高分辨率视觉对准，倒鼐关环量测与实时反馈
全自动传输，配套高干净度在线洗濯